靈活型CL光譜儀  儀器簡介
   電子束入射到樣品上，即可用光學(xué)方法接收并分析陰發(fā)光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結(jié)合電鏡可提供與形貌相關(guān)的高空間分辨率光譜結(jié)果，是納米結(jié)構(gòu)和體材料的*分析工具。
    Flex-CLUE是一款高性能的CL分析儀器，適用于廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。它基于光纖傳輸，是適用于有限空間的集成化系統(tǒng)。

                                  原理圖

靈活型CL光譜儀 主要特點
● 光纖耦合
● 高效CL信號收集
● 掃描成像、線掃描、點測量
● 多種光柵選項
● 多種焦長光譜儀選項：140mm-320mm
● 光譜范圍：200nm-1000nm或400nm-1700nm

重點應(yīng)用領(lǐng)域
    陰發(fā)光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質(zhì)追蹤的強大分析工具，廣泛適用于各個應(yīng)用領(lǐng)域。

1、材料科學(xué)

● 半導(dǎo)體和光電材料
● 介電/陶瓷   
● 氧化物膜           
● 玻璃
2、礦物、地質(zhì)
● 碳酸巖       
● 晶體   
● 金剛石    
● 鋯石、方解石、白云石
3、*
4、生命科學(xué)

CL光譜及成像

■CL光譜：使用CL測量光譜時，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區(qū)域。	■快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系統(tǒng)測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式。
礦物樣品中的白云石和磷酸鈣。測量使用Flex-CLUE系統(tǒng)，配備iHR320光譜儀和開放電式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon, UPMC France提供數(shù)據(jù)	左圖：使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發(fā)射光譜區(qū)。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中圖：電鏡下的樣品圖像。figure 2, SE image 右圖：對應(yīng)的光譜，其中不同色彩區(qū)域與左圖中顯示的顏色對應(yīng)。figure 3, CL spectral (RGB)